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產品中心產品介紹
K1000質量流量控制器為高精度,高穩(wěn)定性的熱式質量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm),具備多氣體多量程功能,8種BIN Size能對應10sccm~50slm的所有流量
K1000質量流量控制器優(yōu)勢
• 傳感器部分采用哈氏合金,耐腐蝕性強。
• 產品精度高,可達~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能,可對氣體種類、流量的變更設定
• 支持大流量(大可到1000L)數字模式通訊模式
• 產品通過CE、RoHS認證
K1000質量流量控制器為高精度,高穩(wěn)定性的熱式質量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm),具備多氣體多量程功能,8種BIN Size能對應10sccm~50slm的所有流量
K1000質量流量控制器優(yōu)勢
• 傳感器部分采用哈氏合金,耐腐蝕性強。
• 產品精度高,可達~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能,可對氣體種類、流量的變更設定
• 支持大流量(大可到1000L)數字模式通訊模式
• 產品通過CE、RoHS認證
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